5-Axis Milled Ceramic Insulators para sa Semiconductor Equipment at Cleanrooms

Sa mundong may mataas na stake ng pagmamanupaktura ng semiconductor at mga kapaligiran sa malinis na silid, ang bawat bahagi ay dapat maghatid ng walang kamali-mali na pagganap. SaPFT, dalubhasa kami sa paggawa5-axis milled ceramic insulatorsna muling tukuyin ang katumpakan at pagiging maaasahan. Na may higit sa 20+taon ng kadalubhasaan, ang aming mga solusyon ay inengineered upang matugunan ang mga hinihingi ng mga kagamitang semiconductor, tinitiyak ang thermal stability, electrical insulation, at walang kontaminasyong operasyon sa mga ultra-sensitive na setting.

Bakit Pumili ng Aming 5-Axis Milled Ceramic Insulators?

1.Mga Advanced na Kakayahan sa Paggawa

Ang aming pasilidad ay nilagyan ngmakabagong 5-axis CNC milling machine, na nagpapagana ng katumpakan sa antas ng micron sa paghubog ng mga advanced na ceramics tulad ng alumina (Al₂O₃), silicon carbide (SiC), at aluminum nitride (AlN). Hindi tulad ng mga nakasanayang pamamaraan, nagbibigay-daan ang 5-axis machining para sa mga kumplikadong geometries—na kritikal para sa mga bahagi tulad ng mga wafer lift pin, mga bahagi ng deposition chamber, at mga insulator na lumalaban sa plasma .

Mga Pangunahing Tampok:

•Katumpakan:±0.005mm tolerance para sa tuluy-tuloy na pagsasama sa ASML lithography tool o Lam Research etch system.
•Materyal na Versatility:Na-optimize para sa 99.8% alumina, high-purity na SiC, at iba pang advanced na ceramics.
•Surface Finish:Ra <0.2μm para mabawasan ang pagbuo ng particulate sa ISO Class 1 na mga cleanroom.

2.Pagmamay-ari na Proseso ng Inhinyero

Ang aming mga inhinyero ay umunladclosed-loop na mga kontrol sa prosesona umaangkop sa brittleness ng ceramic sa panahon ng machining. Sa pamamagitan ng pagsasama-sama ng mga dry milling technique na may real-time na vibration damping, nakakamit namin ang mga crack-free surface at pinahabang tagal ng buhay ng bahagi—kahit sa ilalim ng matinding thermal cycling (hanggang 1,600°C) .

Spotlight ng Innovation:

•Mga Protokol ng Stress-Relief:I-minimize ang mga micro-fracture sa mga insulator ng AlN para sa mga aplikasyon ng CVD.
•Mga Paggamot sa Post-Machining:Ang HIP (Hot Isostatic Pressing) ay nagpapaganda ng density at corrosion resistance.

3.Mahigpit na Pagtitiyak sa Kalidad

Ang bawat insulator ay sumasailalim12-stage na inspeksyon, kabilang ang:

•CMM (Coordinate Measuring Machine)pagpapatunay ng mga kritikal na sukat.
•Pagsubok sa pagtagas ng heliumpara sa vacuum compatibility.
•EDS (Energy-Dispersive X-ray Spectroscopy)upang mapatunayan ang kadalisayan ng materyal.

Ang amingISO 9001/14001-certified systemTinitiyak ang kakayahang masubaybayan mula sa pagkuha ng hilaw na materyal (na galing sa Tier 1 na mga supplier tulad ng CoorsTek) hanggang sa huling packaging .

Mga Aplikasyon: Kung Saan Natutugunan ng Katumpakan ang Pagganap

Ang aming mga insulator ay pinagkakatiwalaan sa:

•Mga Tool sa Etch at Deposition:SiC-coated na mga bahagi para sa plasma resistance sa Applied Materials™ modules.
•Mga Ion Implanter:Ang mga alumina lift pin na may mga anti-static na coatings upang maiwasan ang pagkadulas ng wafer.
•Mga Sistema ng Metrology:Low-thermal-expansion insulators para sa EUV lithography stages.

Pag-aaral ng Kaso:Isang nangungunang semiconductor OEM ang nagbawas ng downtime ng tool ng 40% pagkatapos lumipat sa aming custom-designed na SiC showerheads, na nalampasan ang pagganap ng mga bahagi ng mga kakumpitensya sa 300mm na pagpoproseso ng wafer.

Higit pa sa Paggawa: Isang Diskarte sa Pakikipagsosyo

•Mabilis na Prototyping:Isumite ang iyong mga CAD file at tumanggap ng mga functional na prototype sa loob ng 7 araw.
•On-Site Cleanroom Packaging:Opsyonal Class 10 cleanroom assembly para sa direktang pagsasama ng tool.
•Panghabambuhay na Suporta sa Teknikal:Ang aming mga inhinyero ay nagbibigay ng pagsusuri sa pagsusuot at mga serbisyo sa muling pagma-machining upang palawigin ang mga lifecycle ng bahagi.